автореферат разослан «22» февраля 2006 г. 




Скачать 94.63 Kb.
PDF просмотр
Название  автореферат разослан «22» февраля 2006 г. 
страница1/7
Дата конвертации03.10.2012
Размер94.63 Kb.
ТипАвтореферат
  1   2   3   4   5   6   7
 
МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ 
имени М.В. ЛОМОНОСОВА 
 
 
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ 
ЯДЕРНОЙ ФИЗИКИ имени Д.В. СКОБЕЛЬЦЫНА 
 
На правах рукописи 
 
 
Патракеев Андрей Станиславович 
 
 
 
УГЛОВЫЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМОВ ПРИ РАСПЫЛЕНИИ ОДНО- И 
ДВУХКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ 
 
 
 
Специальность: 01.04.04 – физическая электроника 
 
 
АВТОРЕФЕРАТ 
диссертации на соискание ученой степени 
кандидата физико-математических наук 
 
 
 
МОСКВА 2006 г. 
 

 
Работа выполнена в Лаборатории взаимодействия ионов с веществом Отдела 
физики атомного ядра НИИЯФ МГУ им. М.В. Ломоносова 
 
Научные руководители: 
доктор физико-математических наук  
Черныш Владимир Савельевич 
(физический факультет МГУ) 
 
доктор физико-математических наук 
Шульга Владимир Иванович 
(НИИЯФ МГУ) 
 
Официальные оппоненты: 
доктор физико-математических наук 
Курнаев Валерий Александрович (МИФИ) 
 
доктор физико-математических наук 
Афанасьев Виктор Петрович (МЭИ) 
 
Ведущая организация: 
ГОУВПО «МАТИ» - Российский 
Государственный Технологический 
Университет имени К.Э. Циолковского 
 
 
Защита  диссертации  состоится  « 23 » марта  2006  г.  в 15 часов  на  заседании 
Диссертационного совета К 501.001.06 в МГУ им. М.В. Ломоносова. 
 
 
 
Адрес: 119992, Москва, Ленинские горы, НИИЯФ МГУ им. М.В. Ломоносова, 
19 корпус, ауд. 2-15. 
 
 
 
С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке НИИЯФ МГУ. 
 
 
 
Автореферат разослан « 22 » февраля 2006 г. 
 
 
 
Ученый секретарь 
Диссертационного совета К 501.001.06 
кандидат физ.-мат. наук                                                                       Чуманова О.В. 
 
2

 
 
Общая характеристика работы 
 
Актуальность  темы.  Изучение  угловых  распределений  атомов, 
распылённых ионами с энергией Е0 = 1-10 кэВ, представляет большой интерес 
для теории распыления и многочисленных приложений. Этот диапазон энергий 
лежит  между  припороговой  областью,  в  которой  основным  механизмом 
распыления  является  первичное  выбивание,  т.е.  распыление  поверхностных 
атомов за счет удара непосредственно бомбардирующими ионами, и областью 
высоких  энергий,  где  преобладает  распыление  за  счёт  каскада  атомных 
столкновений.  В  кристаллических  материалах  возможны  механизмы 
распыления,  обусловленные  упорядоченным  расположением  атомов  мишени. 
Указанные  механизмы  распыления  действуют,  как  правило,  одновременно, 
конкурируя  друг  с  другом,  и  отделить  их  один  от  другого  в  условиях 
эксперимента крайне сложно. 
Линейная  каскадная  теория  распыления  Зигмунда,  предполагающая 
изотропный  каскад  атомных  столкновений  в  бесконечной  неупорядоченной 
среде,  предсказывает  угловое  распределение  распылённых  атомов  по  закону 
косинуса  с  максимумом  эмиссии  в  направлении  нормали  к  поверхности:  Y  ∼ 
cosθ,  где  θ  −  угол  эмиссии.  Однако  многочисленные  экспериментальные 
исследования 
и 
расчеты, 
выполненные 
методом 
компьютерного 
моделирования,  показали,  что  угловое  распределение  распыленных  атомов 
зависит  от  параметров  пучка  и  сорта  мишени  и  может  сильно  отличаться  от 
косинусного. С учётом этого был предложен ряд поправок к теории, но вопрос 
о  природе  углового  распределения  распыленных  атомов  оказался  настолько 
сложным, что предпринятых усилий оказалось явно недостаточно. 
Большой интерес в этой связи представляет изучение распыления кремния 
и  германия,  которые,  как  известно,  становятся  аморфными  уже  на  начальной 
стадии  ионного  облучения.  Это  позволяет  исключить  из  рассмотрения 
механизмы, связанные с упорядоченным расположением атомов, и изучать роль 
 
3
  1   2   3   4   5   6   7

Похожие:

  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан  9  февраля 2011 г. 
Отзывы на автореферат (в двух экземплярах, заверенные печатью) просим направлять 
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан  «29»  декабря 2011 г. 
Защита  состоится  «16»  февраля  2012г.  в  15  час.  в  ауд.  5-49  на  заседании 
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан  февраля 2010 года. 
Математическое моделирование, численные методы  и комплексы программ, 01. 04. 05 - Оптика 
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан 13 октября 2006 г. 
Научный                         доктор юридических наук, профессор  
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан 28 февраля 2012 г. 
С диссертацией можно ознакомиться в научной библиотеке Института  истории СО ран (г. Новосибирск, ул. Николаева, д. ) 
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан 22 сентября 2006 г.  
Д  212. 038. 12  при  Воронежском  государственном  университете  по  адресу:  394068, 
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан «      » февраля 2012 г.  
...
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат  разослан «       » ноября  2006 г. 
Типологический анализ менталитета граждан России и сша   в сфере делового общения  
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  icon  автореферат разослан «12»     августа    2006 г. 
...
  автореферат разослан «22» февраля 2006 г.  iconАвтореферат разослан «         » февраля 2011 года. 
Защита  состоится  «         »  марта 2011 года  в  «          »  часов  на  заседании 
Разместите кнопку на своём сайте:
TopReferat


База данных защищена авторским правом ©topreferat.znate.ru 2012
обратиться к администрации
ТопРеферат
Главная страница